VVR HDI系列 b 产品介绍 康代缺陷验证与修复站,专为检修线路最细低至15µm线宽/线距 的HDI而设计 VVR — CIMS康代首创的、集虚拟验证与物理验证于一体的检修站。HDI专用VVR系列是为量产HDI的检修需求而推出的解决方案,此系列产品囊括了以下几款细分型号: VVR 15μ – 检测能力最佳可达15µm线宽/线距 VVR 25μ – 检测能力最佳可达25µm线宽/线距 VVR 30μ – 检测能力最佳可达30µm线宽/线距...